功能:主要用于除去電鏡樣品及樣品桿上的污染,碳沉積以降低圖像分辨率及對(duì)樣品微區(qū)分析造成誤判。還可利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。適用于場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射電鏡。
外型尺寸: W 345mm, H 220 mm, D420 mm
反應(yīng)室尺寸: ? 80 mm, L270 mm
氣體供應(yīng): 流量控制型
射頻發(fā)生器: 40kHz/100 W
真空泵: Leybold, Te S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: PCCE控制
附件: TEM 艙門








