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SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。 在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數據通過平均值，以更的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清操作。SQM160石英晶體監(jiān)測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲參數，包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時，U或以太網選項也添加通信協(xié)議中，以程度方便不同用戶。便于使用 開啟速率和膜厚測量，先按住Zero鍵以清除上次讀數，然后關閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測儀距離也仍然清晰可見。當預設膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監(jiān)測儀的99個存儲膜系進行設置。先，選“program”鍵，進入菜單，然后，旋轉撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示，而設定的數據可以在輔助界面中找到。 高， 標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點是在整個工作范圍內，溫度穩(wěn)定性可以2ppm。高和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了卓越的性價比。| 產品特點：■ 雙通道（標準型），四通道可選■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出■ 高: 0.03Hz at 10個讀數/s■ RS-232 接口, U 或以太網可選 |
| 產品規(guī)格QCM傳感器輸入 標準型: 2;路 可選: 4路 頻率范圍 1-10 MHz 頻率分辨率 標準型: &plun; 0.12 Hz@ 4 readings/sec 可選: &plun; 0.03 Hz @ 10 readings/sec 頻率穩(wěn)定性 在0º to 50ºC，總計&plun; 2 ppm 可選擇的測量周期 0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec) 測量選擇 1 to 20 readings 存儲膜系 99 模擬輸出 2路0 to 10 VDC輸出,沉積速率&膜厚 數字輸入/輸出 2 路數字輸入, 4路繼電輸出 數字接口 標準型: RS-232 可選: U or以太網 電源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W CE標識 Cl 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD 安裝支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")重量 2.7 Kg (6 lbs) Windows軟件(included) 提供遠程安裝和操作指導，數據錄入功能定貨信息 附件782-900-008 單臺SQM-160 19"安裝支架782-900-014 雙臺SQM-160 19"安裝支架782-502-062 4傳感器輸入擴展卡 （將標準型2路擴展到6路）782-900-042 高分辨率選件 （此項需在工廠中完成安裝）782-900-040 U選擇卡 782-900-041 以太網選擇卡 |
