北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司成功地設(shè)計(jì)開發(fā)出HS-WDI-2000型數(shù)碼正置金相顯微鏡。選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，使它具有出色的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可獲得高清晰的顯微圖像，成像效果可與顯微鏡。優(yōu)異的數(shù)碼功能，成像清晰，實(shí)時(shí)視頻圖像，同步顯示，色彩清晰、真實(shí)。廣泛應(yīng)用于多種太陽(yáng)能和半導(dǎo)體等各個(gè)檢測(cè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品應(yīng)用：
HS-WDI型金相顯微鏡是針對(duì)高端用戶的需求而研發(fā)的，作為金相顯微鏡，可廣泛應(yīng)用于金相材料檢驗(yàn)、半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、電池片、薄膜電池、FPD、電路封裝、電路基板、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用視場(chǎng)明暗場(chǎng)物鏡，長(zhǎng)工作距離，高清晰視野。穩(wěn)定、的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其強(qiáng)性能，使您在工作中感到舒適和放松。
儀器特點(diǎn)：
? 金相顯微鏡鏡體：穩(wěn)定的底座及載物臺(tái)，良好的機(jī)械穩(wěn)定性，震動(dòng)設(shè)計(jì)。各種調(diào)節(jié)及控制部件使用方
便，功能擴(kuò)展，適合金屬材料領(lǐng)域的研究、微電子及半導(dǎo)體硅片的研究檢測(cè)、工礦企業(yè)檢驗(yàn)使用。
? 采用正置式，新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng).
? 光源及光路采用長(zhǎng)壽命高亮度鹵素?zé)簦瑤д{(diào)光裝置?？讖焦怅@和視場(chǎng)光闌中心和大小可調(diào)。使用壽命在1000小時(shí)以上。鏡體內(nèi)置電壓平衡系統(tǒng),使圖像不會(huì)因電壓變化而閃爍。濾系統(tǒng)：配置日光矯正中性濾光片、藍(lán)色濾光片、綠色濾光片；目鏡配置測(cè)微尺0.01mm，用于長(zhǎng)度等的測(cè)量及定標(biāo)。
? 目鏡采用10倍高眼點(diǎn)視場(chǎng)雙目觀察，視場(chǎng)數(shù)不低于25mm，目鏡可根據(jù)使用者的曲光度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
? 物鏡采用新高長(zhǎng)工作距離無限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差明場(chǎng)/暗場(chǎng)金相物鏡，三重色差校正,克服色差像
差。使用高折射率低色散螢石材料及鍍膜技術(shù)，能夠具有高分辨率、高對(duì)比度,良好的色彩還原；物鏡組環(huán)均為全金屬部件,物鏡內(nèi)多組透鏡光軸長(zhǎng)期使用不偏移。光學(xué)部件鍍膜具有霉功能。
? 物鏡轉(zhuǎn)換器為四孔式,能夠同時(shí)安裝明場(chǎng)和偏光、定位、轉(zhuǎn)換物鏡視場(chǎng)不漂移。
? 數(shù)碼系統(tǒng)采用工業(yè)原裝彩色數(shù)字CCD攝像頭，與顯微鏡匹配使用，不低于300萬象素，實(shí)時(shí)采集
到高清晰度、高色度和高色彩還原度圖片。
? 帶景深測(cè)試功能的能多Z軸方向進(jìn)行測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)：
1. 目 鏡
目 鏡 | 放大倍數(shù) | 視場(chǎng)（mm） |
大視場(chǎng)高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡 | 10× | ∮25 |
帶十字線刻度分劃目鏡 | 10× | ∮20 |
2. 物 鏡（標(biāo)配4個(gè)）
物鏡 | 放大倍數(shù) | 數(shù)孔直徑 | 工作距離（mm） |
長(zhǎng)工作距離 無限遠(yuǎn)平場(chǎng) 明場(chǎng)/暗場(chǎng) 金相物鏡 | 5× | 0.15 | 26.4 |
10× | 0.25 | 16.0 | |
20× | 0.40 | 10.6 | |
40× | 0.50 | 5.4 | |
100× | 0.80 | 3.0 |
3.光學(xué)系統(tǒng)：采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無限遠(yuǎn)光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
4.放大倍數(shù)：50X-1000X
5.觀測(cè)方式：明場(chǎng)/暗場(chǎng)觀測(cè)、偏光觀測(cè)、微分干涉觀察（選配）。
6.轉(zhuǎn) 換 器：內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器
7.調(diào)焦系統(tǒng)：粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm
8.偏光裝置：檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡檢偏鏡均可移出光路
9.濾光裝置：插板式濾（綠、藍(lán)、中性）
10.載物臺(tái)測(cè)微計(jì)：0.01mm,可用于測(cè)量微觀尺寸
11.分劃目鏡：0.1mm，與載物臺(tái)測(cè)微計(jì)配合使用，測(cè)量樣品尺寸
12、測(cè)量：±1μm
13.載 物 臺(tái)：二維移動(dòng)載物臺(tái)，低位同軸手作X、Y移動(dòng)范圍：150mm×180mm
14.照明系統(tǒng)：采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度，帶孔徑可變光欄和視場(chǎng)可變光欄
15.電源系統(tǒng)：90-260V / 50-60Hz
16.數(shù)碼系統(tǒng)：400萬像素彩色CCD系統(tǒng)、轉(zhuǎn)接鏡頭、U直接與電腦連接，方便快捷
17.測(cè)量軟件：可實(shí)現(xiàn)對(duì)集成電路的線寬、線距、角度、兩點(diǎn)間距離、圓、平行線間距離、
任意曲線長(zhǎng)度、任意多邊形等的幾何尺寸測(cè)量?？蛇_(dá)±1μm. 可拍照數(shù)碼
照片進(jìn)行分析、存儲(chǔ)、處理等。
儀器配置表
顯微鏡型號(hào) | HS-WDI | |||
放大倍數(shù) | 50×、100×、400×、1000× | |||
序號(hào) | 部件名稱 | 單位 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | 金相顯微鏡本體 | 臺(tái) | 1 |
|
1.1 | 顯微鏡鏡體 | 件 | 1 | 帶三目觀察頭 |
1.2 | 高眼點(diǎn)視度可調(diào)場(chǎng)目鏡 | 個(gè) | 2 | 視場(chǎng)范圍不小于25mm |
1.3 | 長(zhǎng)工作距離無限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差 明/暗場(chǎng)金相物鏡 | 個(gè) | 1 | 5×/0.20 HD 工作距離≥29.5mm |
個(gè) | 1 | 10×/0.25 HD工作距離≥16.5mm | ||
個(gè) | 1 | 40×/0.50HD工作距離≥5.4mm | ||
個(gè) | 1 | 100×/0.80HD工作距離≥3.0mm | ||
1.4 | 轉(zhuǎn)換器 | 件 | 1 | 內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器 |
1.5 | 機(jī)械載物臺(tái) | 件 | 1 | X方向 尺寸180mm |
件 | 1 | Y方向 尺寸150mm | ||
1.6 | 三維可調(diào)節(jié)燈室 |
|
| 聚光透鏡可通過旋鈕前后移動(dòng)，反光盒可通過旋鈕進(jìn)行三維調(diào)節(jié)移動(dòng) |
1.7 | 3位反射功能模塊盒 | 件 | 1 | 帶有孔徑光闌和視場(chǎng)光闌 中心和大小可調(diào) |
1.8 | 偏光裝置 | 件 | 1 | 起偏片，可移出光路 |
件 | 1 | 檢偏片，可360°旋轉(zhuǎn) | ||
1.9 | 明&暗場(chǎng)反射功能模塊 | 件 | 1 | 明/暗場(chǎng)反射光路 |
1.10 | 長(zhǎng)壽命高亮度鹵素?zé)?/span> | 個(gè) | 1 | 12V 50W ; 配有電壓平衡系統(tǒng) |
1.11 | 日光色差矯正濾 | 片 | 1 | 可隨意移出移進(jìn)光路 |
1.12 | 藍(lán)色矯正濾 | 片 | 1 | 可隨意移出移進(jìn)光路 |
1.13 | 綠色矯正濾 | 片 | 1 | 可隨意移出移進(jìn)光路 |
1.14 | 數(shù)碼接口適配鏡頭 | 件 | 1 | 連接數(shù)碼裝置 |
2 | 測(cè)微尺 | 件 | 1 | 0.01mm |
3 | 數(shù)碼攝像頭 | 件 | 1 | 不低于300萬像素彩色CCD |
4 | 塵罩 | 件 | 1 |
|
選 配 |
| |||
1 | 金相分析軟件 |
|
| 見詳細(xì)說明資料 |
2 | 電腦 |
|
| 內(nèi)存大于1G,處理器速度大于2G |
3 | 打印機(jī) |
|
| 打印清晰照片 |
