激光測量光束借助于一個物鏡聚焦于物體表面。由于物鏡的位置是被連續(xù)調(diào)整的,因而激光束的焦點總是與物體表面重合。
表面輪廓和局域光的反射是被同時測量的。因而,本組件可測定各種邊緣和各種材料。傳感器功能可以借助于儀器上配備的軟件宏進行控制。這些宏指令可以裝載于已有的軟件中。
AFS傳感器具有表面復現(xiàn)高度的特點。
作為一個選擇項,傳感器可配備微型照相機適配器,以便能夠?qū)Ρ砻嫫蔚挠^察直接進入鏡頭,使激光光束精密定位。采用開發(fā)、高度集成的BMT-IC,傳感器熱漂移低。采用大數(shù)值孔徑物鏡,儀器無論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。
主要用途:
◆ 具有高表面復現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓的測量
◆ 精密位移測量
◆ 微機械件的尺寸測量
◆ 冶金金相測量
◆ 振動測量
◆ 厚度測量
◆ 直線度, 平面度,弧度的測量 主要特點:
◆ 非接觸式表面輪廓測量、反射性能的測量、垂直和橫向的尺寸測量
◆ 的通過透鏡觀測描繪被測物體表面特征的傳感器
◆ 微型化的傳感器
◆ 分辨率1nm
◆ 可達2000µm大的測量范圍
◆ 光斑直徑< 1µm
◆ 適用已確定的制造業(yè)的幾乎粗糙度測量體系
◆ 連續(xù)聚焦 主要優(yōu)點:
◆ 在高輪廓復現(xiàn)下對3D結(jié)構(gòu)進行快速的非接觸式測量
◆ 測量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無關(guān)
◆ 數(shù)據(jù)采集和評估可歸并到已有的軟件中
◆ 具有可組裝性,可組裝到已有的系統(tǒng)中 技術(shù)數(shù)據(jù):
| 型 號 | AFS 1 傳感器 | AFS 2傳感器 | TFS傳感器 |
| 測量范圍祄 | ± 500 / ± 50 | ± 1000 / ± 100 | ± 500 / ± 50 |
| 垂直分辨率 nm | 1 | 1 | |
| 工作距離 mm | 2 | 2 | 13 |
| 激光班直徑(約)µm | 0.5 | 0.5 | 1 |
| 測量頻率* kHz | 20 | 20 | 20 |
| 視場傾角** ° | 20 | 20 | 15 |
| 激光波長 nm | 635 | 635 | 635 |
| 激光等級 | 1 | 1 | 1 |
| 外形尺寸 mm | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 |
| 重量(約)g | 100 | 100 | 100 |








