225--高分辨正入射真空光譜儀
主要特點(diǎn)：
>15度正入射光路結(jié)構(gòu)
>小像差及偏振
>通量密度
>凹面自聚焦光柵，尤其適合CCD、MCP等陣列探測(cè)器
>潔凈不銹鋼結(jié)構(gòu)，高真空度
>分辨率可達(dá)0.005nm
>如需更高分辨率另有2m、3m、5m、6.6m焦距可選
主要技術(shù)參數(shù) | |
波長(zhǎng)范圍 | <30nm-300nm* |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | 正入射 |
真空度支持 | 10-6Torr,或10－10Torr |
焦距長(zhǎng)度 | 1 m |
分辨率，半高寬 | 0.01nm* |
色散 | 0.83nm每毫米* |
校準(zhǔn) | 0.1nm* |
重復(fù)性 | 0.005nm* |
步距 | 0.0002nm* |
焦平面尺寸 | 25mm |
數(shù)值孔徑 | f/10.4 |
光柵尺寸 | 56*96mm |
充氮?dú)?/span> | 可選 |
可選探測(cè)器 | CCD、MCP或單點(diǎn)探測(cè)器 |
狹縫 | 10um-2mm連續(xù)可調(diào)，高度2-20mm可調(diào)，手動(dòng)或電動(dòng)可選 |
*以上參數(shù)均為1200g/mm光柵參數(shù)
不同光柵主要參數(shù) | ||||||||
光柵密度（g/mm） | 3600 | 2400 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 150 | 75 |
分辨率** | 0.005 | 0.008 | 0.01 | 0.015 | 0.03 | 0.06 | 0.12 | 0.24 |
色散（nm/mm） | 0.28 | 0.42 | 0.56 | 0.83 | 1.66 | 3.32 | 6.6 | 13.3 |
波長(zhǎng)范圍30nm至 | 100nm | 150nm | 200nm | 300nm | 600nm | 1.2um | 2.4um | 4.8um |
**分辨率測(cè)試條件：10um狹縫寬度，2mm狹縫寬度，313.1nm
其他可選焦距正入射譜儀 | |||
焦距長(zhǎng)度（m） | 2 | 3 | 5 |
波長(zhǎng)覆蓋范圍 | 300nm | 300nm | 300nm |
分辨率（nm）@313.1nm | 0.007 | 0.005 | 0.003 |
色散（nm/mm） | 0.42 | 0.28 | 0.17 |
