251MX--像差校正平場(chǎng)光譜儀
主要特點(diǎn)：
>像差校正光柵
>為MCP及CCD等陣列探測(cè)器設(shè)計(jì)
>快速獲取光譜
>真空下切換光柵以及對(duì)探測(cè)器位置進(jìn)行調(diào)節(jié)
>真空支持
主要技術(shù)參數(shù) | |
焦平面吃醋 | 1nm-20nm |
入射角度 | 87度 |
真空度支持 | 10-6Torr,或10－9Torr |
探測(cè)器位置 | 可調(diào)節(jié)，可旋轉(zhuǎn) |
焦平面尺寸 | 25mm |
光柵位置 | 2塊光柵，可在真空下切換 |
可選探測(cè)器 | CCD、MCP等陣列探測(cè)器 |
狹縫 | 10um-3mm可在真空下調(diào)節(jié) |
不同光柵主要參數(shù) | ||||||
型號(hào) | 入射出射角度 | 刻線密度G/mm | 分辨率（nm） | 焦平面尺寸 | 光譜范圍 | 能量范圍 |
HEG | 172 | 2400 | ~0.01 | 20mm | 1-5nm | 1240-248eV |
LEG | 167 | 1200 | ~0.028 | 25mm | 5-20nm | 248-62eV |
