石墨舟裝片房
石墨舟裝片房是用于太陽(yáng)能行業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及過(guò)濾器,吹出的空氣凈化要求。
工作原理:
空氣通過(guò)過(guò)濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū),從而了工作區(qū)內(nèi)工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
主要特點(diǎn):
1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、采用不銹鋼制造,整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固;
3、采用GK系列空氣過(guò)濾器3只;
4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
6、了工作區(qū)內(nèi)工藝要求的潔凈度100級(jí)。











