包含電源和伺服驅(qū)動(dòng)的緊湊型設(shè)計(jì) - 圓角和S型剖面，可在短區(qū)間內(nèi)測量 - 在線誤差補(bǔ)償（線性補(bǔ)償，垂直度補(bǔ)償和容積補(bǔ)償） - 多種軟件——軟件限制，回位… - 可連接的觸覺探針（TP2,TP200,TP800……） - 可連接的掃描型探針(SP2-1, SP600) - 可連接的光學(xué)系統(tǒng)（觸覺型和掃描型） - 可連接的PHS1伺服定位頭系統(tǒng) - CE合性，部件和布線UL檢驗(yàn) - 高性，到目前為止，系統(tǒng)已使用1000多次 - 通過面板上的發(fā)光二管可容易診斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài) - WPC輔助軟件可用于參數(shù)設(shè)定，機(jī)械調(diào)節(jié)和故障分析。
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