大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
MX系列機(jī)型采用4\6平臺(tái)設(shè)計(jì),可透用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
MX-4R/MX4RT:4英寸平臺(tái),移動(dòng)范圍:105mmX105mm
MX-6R/MX6RT:6英寸平臺(tái),反射照明移動(dòng)范圍:158mmX158mm,照明移動(dòng)范圍100mmX100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)。
長工作距金相物鏡
設(shè)計(jì)的長工作距物鏡,采用半復(fù)消色差技術(shù),并使用多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個(gè)視場內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。
物鏡轉(zhuǎn)換器
MX機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手減輕巧舒適,重復(fù)定位高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。









