- 品牌/商標(biāo)：FilemtricsF54
- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 新舊程度：全新
- 產(chǎn)品型號：FilemtricsF54
- 原產(chǎn)地：美國
膜厚測量儀 Filemtrics F54
自動化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)
依靠F54先進(jìn)的光譜測量系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y試的點(diǎn)并測試厚度，測試非?？焖伲蠹s每秒能測試兩點(diǎn)。系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量?？蓽y樣品包括：
氧化硅 | 氮化硅 | 類金剛石DLC |
光刻膠 | 聚合物 | 聚亞酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
200毫米夾盤 | 200毫米夾盤 | |
樣品尺寸： | ≤ 直徑200毫米 | ≤ 直徑300毫米 |
速度（含有真空夾盤） | 5點(diǎn)-5秒 | 5點(diǎn)-8秒 |
25點(diǎn)-14秒 | 25點(diǎn)-21秒 | |
56點(diǎn)-29秒 | 56點(diǎn)-43秒 | |
基本要求 | ||
尺寸： | 14W X 19D X 22H（英寸） 35.5W X 43.8D X 55H （厘米） | |
重量： | 41lbs （19kg） | |
測量參數(shù) | F54-UV | F54-UVX | F54 | F54-EXR | F54-NIR |
5x 物鏡厚度范圍*： | - | - | 20 nm-40 μm | 20 nm-120 μm | 40 nm-120 μm |
10x物鏡厚度范圍*： | - | - | 20 nm-35 μm | 20 nm-70 μm | 40 nm-70 μm |
15x 物鏡厚度范圍*： | 4 nm-30 μm | 4 nm-100 μm | 20 nm-40 μm | 20 nm-100 μm | 40 nm-100 μm |
50x物鏡厚度范圍*： | - | - | 20 nm-2 μm | 20 nm-4 μm | 40 nm-4 μm |
100x物鏡厚度范圍*： | - | - | 20 nm-1.5 μm | 20 nm-3 μm | 40 nm-3 μm |
測量n和 k厚度要求1*： | 50 nm | 50 nm | 100 nm | 100 nm | 500 nm |
準(zhǔn)確度*：大于0.4% 或 | 1 nm | 1 nm | 2 nm | 2 nm | 3 nm |
2： | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.1 nm |
穩(wěn)定性3： | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.12 nm |
基本要求 | |||||
光譜儀波長范圍： | 200-1100 nm | 200-1700 nm | 400-850 nm | 400-1700 nm | 950-1700 nm |
光源： | 外置 氘燈 + 鎢鹵素?zé)?/span> | 內(nèi)置 鎢鹵素?zé)?/span> | |||
膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54膜厚測量儀 Filemtrics F54
