壓電掃描臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) -研生-中國制造商 壓電陶瓷納米定位 壓電納米定位技術(shù)

Z向納米級精密 壓電納米掃描臺(tái) 壓電掃描臺(tái) 壓電納米定位臺(tái)║P52系列

P52系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級精密壓電掃描臺(tái)，壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，壓電納米定位臺(tái)采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有的導(dǎo)向，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電納米掃描臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，了壓電掃描臺(tái)具有的運(yùn)動(dòng)控制，定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級。中空式設(shè)計(jì)，且通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 的外形尺寸，的中空尺寸；

◆ 采用無摩擦高柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)；

◆ 內(nèi)置的壓電陶瓷，高性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。

產(chǎn)品應(yīng)用：

掃描顯微鏡　　掩膜/晶圓定位　　計(jì)量學(xué)　　半導(dǎo)體測試　　干涉測量　　納米定位　　生物技術(shù)　　微操作

       遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、壓電納米定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電顯微掃描平臺(tái)、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高微位移測量系統(tǒng)等幾十個(gè)系列產(chǎn)品。

       研生科技的納米級精密定位產(chǎn)品類型豐富，運(yùn)動(dòng)自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運(yùn)動(dòng)行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結(jié)構(gòu)類型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等，定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級，主要技術(shù)指標(biāo)已國際水平，可地替代產(chǎn)品。

       研生科技的產(chǎn)品和技術(shù)主要應(yīng)用于前沿領(lǐng)域科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學(xué)系統(tǒng)、光電子對準(zhǔn)與封裝、光學(xué)跟蹤與掃描、精密加工、自動(dòng)化等領(lǐng)域。廣泛服務(wù)于各高校、科研院所以及各類制造光學(xué)顯微檢測設(shè)備、激光加工設(shè)備、半導(dǎo)體IC設(shè)備、測量/檢測儀器、光電設(shè)備、光學(xué)儀器、設(shè)備、特種精密加工等的裝備制造商。