SEMISHARE LCVD系列激光系統(tǒng)
1. CVD工作原理:用金屬材料連接在各種不同的制程材質(zhì)上。修補斷線,通孔以減少線缺陷,進而良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,短路,斷線,以減少線缺陷,進而良率。 2. 連線效果 成膜規(guī)格: 材質(zhì):Cr,Mo,W,Al 小線寬:2 micron
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SEMISHARE LCVD系列激光系統(tǒng)
1. CVD工作原理:用金屬材料連接在各種不同的制程材質(zhì)上。修補斷線,通孔以減少線缺陷,進而良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,短路,斷線,以減少線缺陷,進而良率。 2. 連線效果 成膜規(guī)格: 材質(zhì):Cr,Mo,W,Al 小線寬:2 micron