技術(shù)參數(shù)
1 分析元素范圍:S-U
2 可分析多達3層以上鍍層
3 分析厚度檢出限達0.02μm
4 多次測量重復(fù)性可達0.05μm
5 定位:0.5mm
5 測量時間:30s-300s
6 計數(shù)率:1000-8000cps
7 儀器適合測試平面。以單層Fe鍍Ni的標樣為例,分析的范圍是0.02—30um,在這個范圍內(nèi),才能檢測。0.5-10um的,偏差是5%,就是說真值是1um,用儀器測試的值是0.95-1.05um。
儀器性能特點
1. 長效穩(wěn)定X銅光管
2.半導(dǎo)體硅片電制冷系統(tǒng),摒棄液氮制冷
3.采用天瑞儀器產(chǎn)品—信噪比增強器(SNE)
4.內(nèi)置高清晰攝像頭,方便用戶隨時觀測樣品
5.脈沖處理器,數(shù)據(jù)處理快速準確
6.手動開關(guān)樣品腔,操作安全方便
7.三重安全保護模式
8.整體鋼架結(jié)構(gòu)、外型高貴時尚
9.FP軟件,無標準樣品時亦可測量
質(zhì)量保證
1. 乙方對所出售本合同所規(guī)定的儀器進行終身維修;
2. 軟件升級:如有軟件升級,乙方將提供軟件升級,不再收取升級費用;
3. 保修條款
3.1. 儀器設(shè)備自驗收合格之日起保修1年;
3.2. 保修期內(nèi),維修相關(guān)費用全免;
3.3. 保修期結(jié)束后,乙方為甲方提供維修服務(wù)的資費標準如下:
交通費、住宿費由甲方承擔;
資費標準:硬件成本費用——按乙方時價計算
硬件運輸費——實報實銷
服務(wù)費——300元 / 人 / 天
人員交通費——實報實銷
人員住宿費用——¥200元/天
4. 技術(shù)服務(wù)的響應(yīng)期限:提供*有效的技術(shù)服務(wù),在接到用戶故障信息后,4小時內(nèi)響應(yīng);如有必要,12~72個小時內(nèi)派人上門維修和排除故障。
5. 由甲方人為造成的損傷不在上述保修條款中,具體事例雙方協(xié)商解決。

技術(shù)指標
多鍍層分析,1~5層
測試:0.001 μm
元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)
測量時間:10~30秒
SDD探測器,能量分辨率為125±5eV
探測器Be窗0.5mil(12.7μm)
微焦X射線管50KV/1mA,鉬,銠靶(高配微焦鉬靶)
6個準直器及多個濾光片自動切換
XYZ三維移動平臺,荷載為5公斤
高清CCD攝像頭(200萬像素),準確監(jiān)控位置
多變量非線性去卷積曲線擬合
高性能FP/MLSQ分析
儀器尺寸:618×525×490mm
樣品臺尺寸:250×220mm
樣品臺移動范圍:前后左右各80mm、高度90mm
圖譜界面
軟件支持無標樣分析
超大分析平臺和樣品腔
集成了鍍層界面和合金成分分析界面
采用多種光譜擬合分析處理技術(shù)
鍍層測厚分析可達到0.001μm
分析結(jié)果
直接打印分析
可轉(zhuǎn)換為PDF,EXCEL格式






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