
Chroma 7200光伏電池片與硅片檢測(cè)系統(tǒng)主要特色:
可與不同自動(dòng)化線體廠商進(jìn)行整合
高擴(kuò)充性的演算法編輯器,可以針對(duì)5”以及6”的單晶、多晶、類(lèi)單晶等結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)
多樣化介面可與其他設(shè)備或者工廠管理系統(tǒng)(MES)做結(jié)合
可檢測(cè)鉆石線切割的硅晶圓
自動(dòng)光源監(jiān)控以及校正設(shè)計(jì)
Chroma 7200光伏電池片與硅片檢測(cè)系統(tǒng)詳細(xì)介紹:
就是為了可以檢測(cè)所有產(chǎn)線上生產(chǎn)的硅晶圓以及電池片的瑕疵所設(shè) 計(jì)的。Chroma 7200可以檢測(cè)5"以及6"的尺寸,而且可以檢測(cè)單晶,多晶甚至是準(zhǔn) 單晶的成品。根據(jù)不同的生產(chǎn)制程,總共有8種不同功能的AOI機(jī)器可供搭配成"硅晶圓 進(jìn)料"檢驗(yàn)或者是"絲網(wǎng)印刷"檢驗(yàn)甚至是"電池片出貨"檢驗(yàn)等不同用途。
Chroma 7201可用來(lái)檢測(cè)硅晶圓長(zhǎng)度、寬度、對(duì)角線、邊緣 夾角、導(dǎo)角尺寸以及導(dǎo)角角度等,同時(shí)也可以檢測(cè)表面瑕 疵。設(shè)計(jì)完善的軟體以及操作介面可供使用者設(shè)定不同的 檢測(cè)參數(shù)來(lái)達(dá)到檢測(cè)結(jié)果,同時(shí)也提供瑕疵顯示以及儲(chǔ)存 功能來(lái)留待日后進(jìn)行MES/CIM的分析以及整合。
Chroma在7202上頭使用了獨(dú)特 的光學(xué)設(shè)計(jì)來(lái)強(qiáng)化晶格特征。而當(dāng)晶格尺寸可以被量化之后,分類(lèi)好的硅晶圓就可以套用于不同的生產(chǎn)工藝,拿來(lái)在不同的電池片生產(chǎn)線進(jìn)行生產(chǎn),藉以 提高電池片生產(chǎn)時(shí)候的平均轉(zhuǎn)換效率。
7202同時(shí)也可以檢測(cè)孔洞瑕疵。而孔洞瑕疵正是造成太陽(yáng)能模組失效的 μ-crack或者嚴(yán)重local shunting的原因。
切割線鋸痕是由于切割時(shí)候的雜質(zhì)影響或者是切割線振動(dòng)所造成的。有時(shí)候發(fā)生 在邊緣而也有可能發(fā)生在硅晶圓中間的位置。由于Chroma使用EN 50513 2009的檢 測(cè)手法來(lái)進(jìn)行光學(xué)設(shè)計(jì),所以即使是發(fā)生在硅晶圓中央位置的切割線鋸痕,也可以 正確檢測(cè)無(wú)誤。
Chroma 7211-D是為了提供高度重復(fù)性的電池片分色結(jié)果而設(shè)計(jì)的。由于使用了CIE 1931 Lab的色彩空間以及將電池片分割成至多60X60的顏色檢測(cè)區(qū)域,7211-D可以 提供將近3600個(gè)區(qū)域的顏色資訊,供顏色分選時(shí)候的參數(shù)設(shè)定使用。透過(guò)各種顏色 資訊以及使用者自訂的分色方法,即使是像多晶時(shí)候的非均勻顏色分布,或者是非 均勻的抗反色層厚度,都可以被精準(zhǔn)的定義出來(lái)。



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