
Chroma 7200光伏電池片與硅片檢測系統(tǒng)主要特色:
可與不同自動化線體廠商進行整合
高擴充性的演算法編輯器,可以針對5”以及6”的單晶、多晶、類單晶等結構進行檢測
多樣化介面可與其他設備或者工廠管理系統(tǒng)(MES)做結合
可檢測鉆石線切割的硅晶圓
自動光源監(jiān)控以及校正設計
Chroma 7200光伏電池片與硅片檢測系統(tǒng)詳細介紹:
就是為了可以檢測所有產(chǎn)線上生產(chǎn)的硅晶圓以及電池片的瑕疵所設 計的。Chroma 7200可以檢測5"以及6"的尺寸,而且可以檢測單晶,多晶甚至是準 單晶的成品。根據(jù)不同的生產(chǎn)制程,總共有8種不同功能的AOI機器可供搭配成"硅晶圓 進料"檢驗或者是"絲網(wǎng)印刷"檢驗甚至是"電池片出貨"檢驗等不同用途。
Chroma 7201可用來檢測硅晶圓長度、寬度、對角線、邊緣 夾角、導角尺寸以及導角角度等,同時也可以檢測表面瑕 疵。設計完善的軟體以及操作介面可供使用者設定不同的 檢測參數(shù)來達到檢測結果,同時也提供瑕疵顯示以及儲存 功能來留待日后進行MES/CIM的分析以及整合。
Chroma在7202上頭使用了獨特 的光學設計來強化晶格特征。而當晶格尺寸可以被量化之后,分類好的硅晶圓就可以套用于不同的生產(chǎn)工藝,拿來在不同的電池片生產(chǎn)線進行生產(chǎn),藉以 提高電池片生產(chǎn)時候的平均轉換效率。
7202同時也可以檢測孔洞瑕疵。而孔洞瑕疵正是造成太陽能模組失效的 μ-crack或者嚴重local shunting的原因。
切割線鋸痕是由于切割時候的雜質(zhì)影響或者是切割線振動所造成的。有時候發(fā)生 在邊緣而也有可能發(fā)生在硅晶圓中間的位置。由于Chroma使用EN 50513 2009的檢 測手法來進行光學設計,所以即使是發(fā)生在硅晶圓中央位置的切割線鋸痕,也可以 正確檢測無誤。
Chroma 7211-D是為了提供高度重復性的電池片分色結果而設計的。由于使用了CIE 1931 Lab的色彩空間以及將電池片分割成至多60X60的顏色檢測區(qū)域,7211-D可以 提供將近3600個區(qū)域的顏色資訊,供顏色分選時候的參數(shù)設定使用。透過各種顏色 資訊以及使用者自訂的分色方法,即使是像多晶時候的非均勻顏色分布,或者是非 均勻的抗反色層厚度,都可以被精準的定義出來。



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