- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：瑞士
- 測(cè)量范圍：400-1100mm
- 分辨率：0.001mm
- 精度：[2.5+L(mm)/300
瑞士丹青Compact WLI白光干涉微觀形貌及粗糙度儀是用于記錄3D形貌光學(xué)測(cè)量技術(shù)，其分辨率高達(dá)納米級(jí)。測(cè)量點(diǎn)平行采集和處理，大面積的高度信息可以在很短時(shí)間內(nèi)采集。研究和質(zhì)量管理過程中的典型應(yīng)用有：物體表面的不同粗糙度特性（晶圓結(jié)構(gòu)、鏡面、玻璃、金屬等）、確定高度變化以及曲面的精密測(cè)量（如微透鏡等）。
微觀形貌及粗糙度儀WLI白光干涉?zhèn)鞲衅魈攸c(diǎn)：
◆ 直接3D測(cè)量
◆ 非?？焖?/p>
◆ 高精度，分辨率0.1nm
◆ 2.5x~100x干涉鏡頭
◆ 50x以上干涉鏡頭用于高反射表面
◆ 集成拼接功能
◆ 測(cè)量范圍400μm
◆ 適用于所有材料
◆ 高速壓電陶瓷Z軸
◆ 2百萬或5百萬像素?cái)z像頭(根據(jù)測(cè)量需求配置)
◆ Trimos提供基于WLI技術(shù)的先進(jìn)解決方案并通過Trimos Nanoware測(cè)量軟件對(duì)整個(gè)測(cè)量過程進(jìn)行控制和分析。
◆ Trimos在本領(lǐng)域進(jìn)行了廣泛的研究并積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，因而能提供高效、穩(wěn)定、的分析算法。
Compact WLI技術(shù)參數(shù)：
微觀形貌及粗糙度儀：測(cè)量技術(shù) 白光干涉
算法 垂直掃描結(jié)合相移
掃描器 精密壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，
閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷
掃描范圍 400 μm
掃描速度 150 μm/s
系統(tǒng)軟件 smartVIS 3D / Speedytec on GPU
分析軟件 TrimosNanoware Analyse
測(cè)量陣列 1936 x 1216測(cè)量點(diǎn)
電源 100 to 240 VAC, 50/60 Hz
粗糙度儀
技術(shù)參數(shù) WLI 2.5x WLI 5x WLI 10x WLI 20x WLI 50x WLI 100x
垂直分辨率 nm 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
橫向分辨率(X/Y) μm 4.81 4.81 1.2 0.9 0.66 0.52
垂直測(cè)量范圍 μm 400 400 400 400 400 400
測(cè)量面積(XY) μm 4536 x3447 2268x1723 1134x861 567x430 226x172 113x86
放大倍數(shù) 2.5x 5x 10x 20x 50x 50x
工作距離 mm 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 3.4
