簡(jiǎn)潔 . 靈動(dòng) . 強(qiáng)勁.

Slynx是一款專(zhuān)為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D光學(xué)輪廓儀。它設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔、用途多樣。Slynx能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的高端形貌測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心專(zhuān)利是將3種測(cè)量方式融于一體，確保了其完美的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶(hù)將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)。

三合一技術(shù)

1、共聚焦技術(shù)

共聚焦技術(shù)可用于測(cè)量各類(lèi)樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70（粗糙表面達(dá)86）。專(zhuān)利的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

2、干涉技術(shù)

共聚焦技術(shù)可用于測(cè)量各類(lèi)樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70（粗糙表面達(dá)86）。專(zhuān)利的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

3、多焦面疊加技術(shù)

共聚焦技術(shù)可用于測(cè)量各類(lèi)樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70（粗糙表面達(dá)86）。專(zhuān)利的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。