聲學所 供應共燒型壓電陶瓷執(zhí)行器
共燒型壓電陶瓷執(zhí)行器尺寸為7×7×36 mm3，最小為2×2×2 mm3，均由瓷片與Ag-Pd電極一體化共燒而成。產(chǎn)品位移大、響應快、推力大、發(fā)熱很低、循環(huán)壽命可達109次，可用于半導體等精密加工設備、成像設備等的納米驅動、定位和減震等領域。
共燒型壓電陶瓷執(zhí)行器規(guī)格系列
規(guī)格型號 | 尺寸 ±0.1(mm) | 靜態(tài)電容 ±20%（uF） | 電壓 （V) | 諧振頻率 ±20%（kHz） | 位移 ±10%（μm） | 剛度 （N/μm） | 推力 （N） |
JKZK2-2-120 | 2*2*2 | 0.2 | 120 | 150 | 1.5 | 100 | 150 |
JKZK3-3-9-120 | 3*3*9 | 0.65 | 120 | 135 | 8 | 40 | 300 |
JKZK3-3-13.5-120 | 3*3*13.5 | 0.9 | 120 | 90 | 12 | 25 | 300 |
JKZK3-3-18-120 | 3*3*18 | 1.3 | 120 | 70 | 16 | 18 | 300 |
JKZK5-5-9-120 | 5*5*9 | 0.8 | 120 | 135 | 8 | 100 | 800 |
JKZK5-5-13.5-120 | 5*5*13.5 | 1.2 | 120 | 90 | 12 | 70 | 800 |
JKZK5-5-18-120 | 5*5*18 | 1.6 | 120 | 70 | 18 | 45 | 800 |
JKZK5-5-36-120 | 5*5*36 | 3.7 | 120 | 38 | 38 | 20 | 800 |
JKZK7-7-18-120 | 7*7*18 | 3.8 | 120 | 70 | 18 | 100 | 1780 |
JKZK7-7-36-120 | 7*7*36 | 8 | 120 | 38 | 38 | 45 | 1780 |
