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超高精密五軸微細(xì)結(jié)構(gòu)加工中;
Diamond Turning,Milling and Fly-Cutting;
大理石整體結(jié)構(gòu),主動(dòng)隔振系統(tǒng);
位移軸承靜油壓軸承技術(shù),X軸行程1100mm;
銑磨軸氣浮軸承技術(shù),直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng);
微細(xì)結(jié)構(gòu)加工軸,轉(zhuǎn)速125,000RPM;
非接觸零件在線測(cè)量系統(tǒng)(選項(xiàng));
干涉儀在線測(cè)量裝置,12"(選項(xiàng));
加工直徑:500mm(對(duì)角線長(zhǎng)度800mm);
加工精度:PV-100nm/100mm;
Roughness:2nm(RMS).