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技術(shù)參數(shù):
規(guī)格型號
Inspector FQ
QuickInspector
測量范圍(X-軸)
400-3500mm
0.06-300mm
(Y-軸)
400-1750mm
(Z-軸)
50-600mm
允許測量誤差(E1單軸精度)(E2平面精度)(E3空間精度)
(2.5+L(mm)/120)µm
(0.25+L(mm)/100)µm
(2.9+L(mm)/100)µm
(2.9+L(mm)/75)µm
(4.5+L(mm)/75)µm
物鏡
0.1X-100X
分辨率
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