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Talyrond 73儀器系列可以提供多種圓度測量性能級別,其中標(biāo)準(zhǔn)儀器測量誤差為±25納米,超高精密度圓度(UHPR)儀器的測量誤差可以達(dá)到±5納米。這些非同尋常的精度級別促使許多標(biāo)準(zhǔn)機構(gòu)將Talyrond 73 UHPR用作標(biāo)定參考標(biāo)準(zhǔn)。
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