儀器特點(diǎn)
| ◆ 高端配置,超精密全自動測量,四軸CNC控制; | |
| ◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng); | |
| ◆ Renishaw開放式光柵尺,精度高、穩(wěn)定性好; | |
| ◆ Navitar自動變倍光學(xué)鏡頭,可實(shí)現(xiàn)自動變倍測量; | |
| ◆ 全鼠標(biāo)、手柄操作,簡單易用; | |
| ◆ 可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源,LED輪廓光源,同軸光源; | |
| ◆ 自動對焦測高,可加裝接觸式測頭; | |
| ◆ Vispec全自動影像測量軟件(高端版); | |
| ◆ 提供多種行程規(guī)格配置,如222、322、432、542等。 |
技術(shù)參數(shù)
| 型號 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
VMU542 | |
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行程(mm) |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 | |
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外部尺寸(mm) |
1200×950×1750 |
1200×950×1750 |
1400×950×1750 |
1600×1150×1750 | |
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重量(kg) |
240 |
250 |
300 |
380 | |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
25 | |
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測量精度 |
XY軸* |
E2=(2.0+L/300)μm |
E2=(2.5+L/300)μm | ||
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Z軸** |
E1=(5.0+L/200)μm | ||||
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速度 |
XY軸 |
200mm/S | |||
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Z軸 |
100mm/S | ||||
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光柵尺 |
Renishaw光柵尺,0.4μm分辨率 | ||||
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CCD |
SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
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光源 |
輪廓光 |
LED冷光源,256級亮度可調(diào) | |||
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表面光 |
6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段獨(dú)立操控,256級亮度可調(diào) | ||||
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同軸光 |
LED冷光源,256級亮度可調(diào) | ||||
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光學(xué)系統(tǒng)*** |
Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
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軟件 |
Vispec測量軟件(高端版) | ||||
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運(yùn)動控制 |
自主專利的CNC直流伺服系統(tǒng) | ||||
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保修期 |
1年 | ||||
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工作環(huán)境 |
溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
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振動<0.002g,低于15Hz | |||||
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電源 |
220V/50Hz/10A | ||||