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| 應(yīng)用 | LCD、CMOS、IC制程烘烤 |
| 特點 |
1.內(nèi)、中桶材質(zhì)采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,外膛采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生PARTICLE 3.耐高溫濕日制HEPA FILTER(99.99%),能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#。 |
| 規(guī) 格 表 |