URE-2000系列光刻機(jī)

型號(hào)：35

一．技術(shù)特征——

非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）
采用技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；

1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無論大片、小片調(diào)平均高；   

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；     

3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；   

4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程，

并提供USB輸出；既滿足高對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和

方便存儲(chǔ)；  
5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；    
7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）      
8、對(duì)準(zhǔn)完成，自動(dòng)消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察； 
9、快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）    
10、采用350W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；   
11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)”兩種方式，即曝光時(shí)采用高亮度照明，而不曝光

時(shí)采用低亮度的“待機(jī)”，從而延長了汞燈壽命。      
12、設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽浚?SPAN lang=EN-US>
13、上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度很高，操作簡(jiǎn)便。