北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司
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| 硅片電阻測試儀 | |
| 硅片電阻測試儀是用來測量硅片、硅單晶、鍺單晶電阻率的測量儀器。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及測量軟件組成。 | |
 功能特點 |
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| 本套儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。主機配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。主機配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本套儀器使用專用軟件進行數(shù)據(jù)采集,可實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值，值、小值、百分變化率、平均百分變化率等內容。 | |
| 技術參數(shù) |
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測量范圍 探針 恒流源 直流數(shù)字電壓表 供電電源 使用環(huán)境 重量、體積 | |
