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北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司

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無接觸硅片厚度電阻率測試儀

產(chǎn)品價格：: 電議

產(chǎn)品型號：: RTM660C

供應(yīng)商等級：: 免企業(yè)未認證

經(jīng)營模式：: 工廠

企業(yè)名稱：: 北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司

所屬地區(qū)：: 北京市

發(fā)布時間：: 2013/7/3 14:48:05

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主營產(chǎn)品：少子壽命測試儀,硅錠探傷儀,硅料分選儀,硅片自動41點精密測,手動硅片測厚儀,碳氧含量測試儀,硅片表面線痕測試儀,硅料檢測分選儀,太陽能級硅少子壽命測,硅棒、硅錠探傷儀,光伏檢測顯微鏡,薄膜方塊電阻測試儀,手持式電阻率測試儀,便攜式硅料分選儀,鎢鋼探針,全自動硅片測厚

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: ITO膜厚測試儀; 電議

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RTM660C無接觸式硅片厚度電阻率測試系統(tǒng)

RTM660C采用高的厚度及電阻率探頭，配以強大的軟件控制，可以用多種方式進行無接觸式測量，使得測試過程變得十分高效。系統(tǒng)采用一體化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便。使用者在操作平臺上轉(zhuǎn)動硅片，測試數(shù)據(jù)可即時顯示，并可對測試數(shù)據(jù)進行分析處理。高電容式厚度探頭和電渦流式電阻率探頭，保證測試結(jié)果且穩(wěn)定。RTM660C可廣泛使用于研究、生產(chǎn)及質(zhì)檢等場所，友好的人機交互界面，使用相當便捷。

技術(shù)參數(shù)

■ 硅片規(guī)格：
     方片125x125mm、156x156mm
     圓片3″、4″、5″、6″、8″
■ 測試功能
     厚度：單點及多點厚度
     TTV：總厚度偏差
     體電阻率：單點及多點體電阻率
■ 測試指標
     厚度范圍：150～1000μm
     測量誤差：≤±1.0μm
     重復(fù)性：≤±0.20μm
     TTV范圍：0.00μm～200.00μm
     測量誤差：≤±0.50μm
     重復(fù)性：≤±0.20μm
     體電阻率范圍：0.1Ω.cm~30.0Ω.cm
     測量誤差：≤±3%
     重復(fù)性：≤1.5%
■ 設(shè)備尺寸/重量：470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg
■ 測試環(huán)境要求：溫度范圍15～27℃
■ 濕度范圍：35%～85%
■ 電源要求：220VAC,50Hz
■ 控制器：高性能主機

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