| 硅芯電阻測試儀 硅芯電阻率測試儀是按照我國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1551-1995及美國材料與試驗協(xié)會（ASTM）推薦的材料驗收檢測方法設(shè)計。它適合于測量橫截面面積均勻的圓型，方型或矩形單晶錠的電阻率，在硅芯、檢驗棒電阻率測量上測量準(zhǔn)確。由于硅芯電阻率測試儀的測量電流是從長棒兩端進出，遠(yuǎn)離電壓測量探針，因此減少了電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)，如珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等，使得測量大大提高。 | ||
 產(chǎn)品特點 |
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| 本儀器主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機還提供為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流開關(guān)，在測量某些材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護被測材料。儀器配置“小游移探針頭”，間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性的準(zhǔn)確度。本機配用測量軟件，設(shè)計語言為VC++，可對四探針、兩探針電阻率測量數(shù)據(jù)進行處理并修正測量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲格式，顯示變化曲線、正反向電阻率平均值、電阻率的值、電阻率小值，給測量帶來很大方便。 兼容性：適用于通用電腦，支持Windows XP、Vista。 | ||
| 技術(shù)參數(shù) |
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| 測量范圍 ■ 可測硅晶體電阻率：0.005-50000Ω·cm ■ 可測硅棒尺寸：長度300mm；直徑20mm（均可按用戶要求更改）。 | ||
| 恒流源 ■ 輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào) ■ 量程： 0.001-0.01mA（1-10μA） 0.01-0.1mA（10-100μA） 0.1-1.0mA 1.0-10mA 10-100mA ■ 恒流：各檔均優(yōu)于±0.05% | ||
| 直流數(shù)字電壓表 ■ 測量范圍：0-199.99mV ■ 靈敏度：10μA ■ 基本誤差：±（0.004%讀數(shù)±0.01%滿度） ■ 輸入阻抗：≥0.3% | ||
| 電阻測量誤差 ■ 誤差：≤0.3% | ||
| 探針參數(shù) ■ 兩探針頭 ■ 探針間距：1.59±0.01mm 探針直徑Φ0.8mm ■ 游移率：＜0.2% 探針材料：硬質(zhì)合金（WC） ■ 探針壓力：3±1N/單針 | ||
| 供電電源 ■ AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率：12W | ||
| 使用環(huán)境 ■ 溫度：23±2℃ 相對溫度：≤65% ■ 無較強的電場干擾，無強光直接照射。 | ||
| 重量、體積 ■ 主機重量：7.5Kg | ||
北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司
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