三維沖撞儀隨著工業(yè)自動(dòng)化水平的不斷發(fā)展，產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)測(cè)、控制手段已經(jīng)成為保證產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)的不可缺少的一環(huán)。許多對(duì)裝配有較高要求的產(chǎn)品容感式加速度傳感器內(nèi)部也存在一個(gè)質(zhì)量塊，從單個(gè)單元來(lái)看，它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器，加速度的變化帶動(dòng)活動(dòng)質(zhì)量塊的移動(dòng)從而改變平板電容兩極的間距和正對(duì)面積，通過(guò)測(cè)量電容變化量來(lái)計(jì)算加速度。而熱感式加速度傳感器內(nèi)部沒(méi)有任何質(zhì)量塊，它的中央有一個(gè)加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔，工作時(shí)在加熱體的作用下，氣體在內(nèi)部形成一個(gè)熱氣團(tuán)，熱氣團(tuán)的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過(guò)慣性熱氣團(tuán)的移動(dòng)形成的熱場(chǎng)變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。由于壓電式加速度傳感器內(nèi)部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式加速度傳感器只能感應(yīng)到"動(dòng)"加速度，而不能感應(yīng)到"靜態(tài)"加速度，也就是我們所說(shuō)的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應(yīng)"動(dòng)"加速度，又能感應(yīng)"靜態(tài)"加速度。由于沒(méi)有任何移動(dòng)部件，而且采用了微機(jī)械加工技術(shù)，熱感式加速度傳感器的研發(fā)過(guò)程中解決了很多加工上的難題。目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本低，抗沖擊能力強(qiáng)，而且可靠性好，失效率低于10ppm。 熱感式加速度傳感器體積小，低功耗，工作電流應(yīng)在2mA以下，主芯片接口具備標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字接口模式。可以提供兩個(gè)方向的加速度值，采用兩片即可實(shí)現(xiàn)三維加速度值測(cè)量。