供應(yīng)INFICON英?？嫡婵沼嫷脑敿?xì)信息
- 類型：U型壓力計
- 測量范圍：——(kPa)
- 外形尺寸：**(mm)
- 工作壓力：(Mpa)
- 存儲容量：(ml)
- 溫度測量：(℃)
- 壓力測量：(%F.S)
- 延時長時間：(h)
- 儀器外徑：(mm)
- 電源：(V)
- 額定流量：(m3/h)
- 輸出壓力：——(MA)
- 溫度測量范圍：——(℃)
?優(yōu)點
■ 低 CoO (擁有成本), 50% 快速預(yù)熱, 能效高, 功耗低
■ 易整合于系統(tǒng)中, 寬廣的全量程范圍, 法蘭和接口, 標(biāo)準(zhǔn)型號帶有兩個設(shè)點
■ 簡易的一鍵操作或遙控訊號調(diào)零指令, 零點偏離可調(diào)
■ 診斷端口用于快速檢修和維護(hù)
■ 兩年保用期, 真空計使用壽命長, 采用先進(jìn) 加熱概念和傳感器保護(hù)
■ 由于卓越的訊號穩(wěn)定性和可重復(fù)性, 即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可長期使用,
無需重新校準(zhǔn)
■ 承諾和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途
■ 刻蝕, PVD, CVD, LPCVD 和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
■ 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
■ 需要真空計保護(hù)的常用薄膜和真空過程
