儀器簡(jiǎn)介：

●采用UV 激光光源，分辨率可達(dá)120納米

●聚焦小步進(jìn)/行程：10納米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米 

●無(wú)須復(fù)雜的制樣過(guò)程，樣品無(wú)須鍍膜導(dǎo)電處理，觀察時(shí)無(wú)須真空，可放置重樣品（10KG）

●激光安全等級(jí)：CLASS 2 

●圖像感應(yīng)裝置：光電倍增管

技術(shù)參數(shù)：

1 測(cè)量
2D測(cè)量：測(cè)量范圍1.5mm～1 μm；
不僅是線寬度，也能進(jìn)行圓的直徑等幾何測(cè)量。
3D測(cè)量：測(cè)量范圍1mm～0.5 μm；
體積、容積、表面積等3D測(cè)量；可測(cè)量透明膜厚度。
粗糙度分析：適合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
不公是線粗糙度，面粗糙度也能檢測(cè)。

2 3D形貌
能獲得3D色彩等多種多樣的信息
等高線顯示、網(wǎng)格狀顯示等方式體現(xiàn)3D信息。
利用微分干涉可識(shí)別表面的更加細(xì)微的凹凸信息。

3 高分辨率觀察
顯示器倍率為14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高對(duì)比度的解像度。
可以分辨常規(guī)顯微鏡所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉進(jìn)一步提高分辨率。
實(shí)時(shí)觀察。
觀察范圍是2，560X2，560μm

主要特點(diǎn)：

● 世界的分辨率、高、XY分辨率可達(dá)0.12微米

●3D成像，高測(cè)量，Z軸小讀數(shù)0.01微米。

●實(shí)時(shí)像的獲得和測(cè)量同時(shí)。

●408nm激光采用