一、儀器簡(jiǎn)介：

這是一款適合教學(xué)與科研兼顧的SPM儀器，該機(jī)集成了掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡的接觸、側(cè)向力工作模式；可以實(shí)現(xiàn)薄膜、塊狀等多種材質(zhì)樣品的納米尺度形貌表征和分析。
如需要檢測(cè)粉體、溶液、纖維、生物樣品等柔軟、易黏附的樣品，請(qǐng)選購配置了AFM輕敲模式的ZL AFM-III型掃描探針顯微鏡。原理細(xì)節(jié)可以參考“了解模塊”中的相關(guān)內(nèi)容。

二、技術(shù)參數(shù)

1.掃描系統(tǒng)：
1.1 掃描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲線；AFM接觸/橫向力模式，力曲線測(cè)量
1.2 掃描范圍：50μm*50μm 單一多量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù)，50μm掃描器可達(dá)HOPG原子分辨率
1.3 分辨率：
STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定標(biāo)
接觸模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定標(biāo)
單一多量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù)，50μm掃描器可達(dá)HOPG原子分辨率
1.4 樣品臺(tái)尺寸：直徑≤Φ65mm，厚度≤30mm，重量≤15g
1.5 探針識(shí)別：自動(dòng)識(shí)別當(dāng)前針尖類型，軟硬件自動(dòng)切換到相應(yīng)的工作模式，無需人工干預(yù)。
1.6 探針保護(hù)：獨(dú)特設(shè)計(jì)的針尖保護(hù)技術(shù)，包括自動(dòng)進(jìn)針保護(hù)和平滑移動(dòng)保護(hù)，能有效降低樣品對(duì)針尖的損傷，使儀器長(zhǎng)時(shí)間保持高分辨圖像。
1.7 探針趨近：高高速伺服電機(jī)，控制針尖自動(dòng)逼近樣品，行程<30mm，步長(zhǎng)<23nm
1.8 樣品移動(dòng)：手動(dòng)精密機(jī)械二維移動(dòng)平臺(tái)（移動(dòng)范圍5mm×5mm，3μm）。 可選配計(jì)算機(jī)控制高電控樣品移動(dòng)平臺(tái)。
1.9納米加工：矢量刻蝕功能 、圖形刻蝕功能

2.控制系統(tǒng)：
2.1 控制/采集：采用雙16位掃描/采樣差分同步獨(dú)立高壓放大技術(shù)，16通道雙16位A/D （相當(dāng)于23位）；12通道16位D/A；4通道雙16位D/A（相當(dāng)于23位）
2.2 反饋方式：8通道 數(shù)字化反饋+數(shù)控模擬反饋
2.3 中樞控制器：32位ARM技術(shù)，16 M RAM ，2M Flash ROM
2.4 高壓?jiǎn)卧?plusmn;300V 紋波噪聲1.5mV；4通道雙16位D/A（相當(dāng)于23位）提供掃描器XYZ 三個(gè)方向的控制電壓；可擴(kuò)展到8通道
2.5 計(jì)算機(jī)接口：EPP模式并行口 / USB2.0接口 可選
2.6 掃描頻率：0.1～300Hz
2.7 掃描角度：-180~180連續(xù)可調(diào)
2.8 圖像采樣點(diǎn)：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可調(diào)
2.9 電流檢測(cè)靈敏度≤10pA
2.10 力檢測(cè)靈敏度≤5pN
2.11預(yù)置隧道電流：1pA～50nA
2.12 偏置電壓：-10～+10V
　
3.軟件系統(tǒng)：
3.1 操作系統(tǒng)：Windows 98/2000/XP
3.2 在線控制軟件：四窗口圖像界面，可觀察4個(gè)不同數(shù)據(jù)通道同步成像;系統(tǒng)智能記憶功能 : 一個(gè)參數(shù)改變，相關(guān)參數(shù)會(huì)根據(jù)系統(tǒng)經(jīng)驗(yàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)到范圍；壓電陶瓷非線性校正，曲面擬合校正，樣品傾斜校正等。
3.3 圖像處理軟件：3D顯示，濾波處理，圖像修飾，邊緣增強(qiáng)、形態(tài)學(xué)處理、圖像格式轉(zhuǎn)換，圖像 幾何變換、調(diào)色板設(shè)置等。
3.4 數(shù)據(jù)分析軟件：粗糙度分析，顆粒度分析，剖面分析，膜厚分析、臺(tái)階分析、各種曲線統(tǒng)計(jì)/分析等。
3.5 軟件開發(fā)模板：便于用戶進(jìn)行二次開發(fā)，完成特殊的數(shù)據(jù)處理功能。
3.6 軟件服務(wù)包：軟件以插件方式終身享受升級(jí)服務(wù)。
　
4.工作條件：
4.1 環(huán)境溫度：0-35攝氏度
4.2 相對(duì)濕度：0-65%
4.3 工作電壓：220V（±10%），50Hz
　
5.可選配的功能模塊技術(shù)參數(shù)--樣品定位輔助模塊
5.1 高分辨CCD光學(xué)顯微系統(tǒng)：在計(jì)算機(jī)上成像，用于觀察探針和樣品，放大倍數(shù)80—600倍，視場(chǎng) 1.6mm，工作距離10cm，配套控制及成像軟件。一體式設(shè)計(jì)，工作過程中不必移開，可全程隨時(shí)觀測(cè)。
5.2 高電控樣品移動(dòng)平臺(tái)：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制，配合光學(xué)顯微系統(tǒng)進(jìn)行樣品移動(dòng)和定位。全程可視
5.2.1 移動(dòng)范圍5mm*5mm，單步小步長(zhǎng)50nm
5.2.2 高電控移動(dòng)平臺(tái)和單一大量程自適應(yīng)掃描器技術(shù)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)從量程到小幾納米掃描范圍內(nèi)，全程計(jì)算機(jī)控制樣品定位，無盲點(diǎn)
5.2.3 直接用鼠標(biāo)拖動(dòng)待測(cè)區(qū)到目的地，計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)
5.2.4 可任意設(shè)置原點(diǎn)位置，一鍵返回（計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)回到設(shè)置的原點(diǎn)位置）
5.2.5 可任意標(biāo)記多個(gè)測(cè)樣點(diǎn)，編制定位路徑，計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)到達(dá)各設(shè)定的測(cè)樣點(diǎn)
5.2.6 可直接輸入X、Y方向移動(dòng)數(shù)值，計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)定位國內(nèi)配置，其它廠商只提供手動(dòng)調(diào)節(jié)的精密螺桿移動(dòng)平臺(tái)，無法實(shí)現(xiàn)樣品精密定位搜尋。
5.3 單一 大量程自適應(yīng)掃描器：50μm掃描器可達(dá)HOPG原子分辨率 ，測(cè)樣過程中不用更換掃描器可實(shí)現(xiàn)從50微米—幾納米掃描范圍連續(xù)定位高成像（獨(dú)有關(guān)鍵技術(shù)）

三、主要特點(diǎn)：

1.具有國內(nèi)SPM儀器中的綜合分辨率；50um*50um量程掃描器分辨率：STM X-Y方向0.1nm，Z方向0.01nm；AFM（接觸模式） X-Y方向0.2nm，Z方向0.03nm；AFM（輕敲）X-Y方向0.2nm，Z方向0.1nm；卓倫公司技術(shù)：自適應(yīng)多形變量程模式壓電陶瓷掃描器。

2.具有國內(nèi)SPM儀器中智能化的高電控樣品移動(dòng)平臺(tái)，具有以下功能：
2.1 移動(dòng)范圍5mm*5mm，單步小步長(zhǎng)50nm
2.2 直接用鼠標(biāo)拖動(dòng)待測(cè)區(qū)到目的地，計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)
2.3 可任意設(shè)置原點(diǎn)位置，一鍵返回（計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)回到設(shè)置的原點(diǎn)位置）
2.4 可任意標(biāo)記多個(gè)測(cè)樣點(diǎn)，編制定位路徑，計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)到達(dá)各設(shè)定的測(cè)樣點(diǎn)
2.5 可直接輸入X、Y方向移動(dòng)數(shù)值，計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)定位

3.儀器采用智能針尖自識(shí)別技術(shù)：當(dāng)需要在STM/AFM/LFM等工作模式之間相互轉(zhuǎn)換時(shí)，只需要替換相應(yīng)的針尖架，儀器會(huì)自動(dòng)識(shí)別當(dāng)前針尖類型，然后軟、硬件會(huì)自動(dòng)切換到相應(yīng)的工作模式，無需人工干預(yù)；卓倫公司技術(shù)：掃描探針顯微鏡的智能針尖連接結(jié)構(gòu)。

4.儀器配置軟件服務(wù)包：軟件部分終身享受升級(jí)服務(wù)。軟件是儀器的大腦，卓倫公司擁有一支年輕的研發(fā)隊(duì)伍，他們?cè)菄鴥?nèi)套基于Windows的擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的SPM軟件系統(tǒng)的開發(fā)者。長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn)積累和不羈的創(chuàng)新思維，造就了全新的MicroNano NewSPM軟件系統(tǒng)。