硅片要求 規(guī)格： 方片125×
圓片 3"、4"、5"、6"、8"
測(cè)量功能 厚度： 單點(diǎn)及多點(diǎn)厚度
TTV: 總厚度偏差
體電阻率： 單點(diǎn)及多點(diǎn)電阻率
TRV: 總體電阻率偏差
測(cè)量指標(biāo) 厚度 范圍： 150-1000μm
測(cè)量誤差: ≤±1.0μm
重復(fù)性1σ: ≤0.2μm
TTV 范圍： 0.0-200.0μm
測(cè)量誤差： ≤±0.50μm
重復(fù)性1σ: ≤0.2μm
電阻率 范圍： 0.1-30Ω.cm
測(cè)量誤差： ≤±3.0%*R
重復(fù)性1σ: ≤1.5%*R
