Veeco的NEXUS原子層沉積模塊能沉積具有高保形和高擊穿電壓的先進(jìn)的薄膜磁頭的絕緣間隙材料。ALD模塊和GMR傳感器模塊能集束結(jié)合提供理想的工藝聯(lián)合加工。
主要特點(diǎn):
Veeco的NEXUS原子層沉積模塊能沉積具有高保形和高擊穿電壓的先進(jìn)的薄膜磁頭的絕緣間隙材料。ALD模塊和GMR傳感器模塊能集束結(jié)合提供理想的工藝聯(lián)合加工。
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