- 產(chǎn)品品牌:
- sunic
- 產(chǎn)品型號:
- SET3
SET3/1064/532/355,SFT3:激光刻阻機/激光修阻機/激光調(diào)阻機 激光調(diào)組設(shè)備的產(chǎn)品特點: 調(diào)阻高:先進的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細線寬的激光束;四線制高速測量系統(tǒng),測量時間僅為25us;擁有軟件預調(diào)誤差補償功能; 調(diào)阻速度快:先進的激光器擁有極高的重復頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進口掃描振鏡,掃描速度極快;高分步重復機構(gòu),空氣軸承,移動速度及加速度快; 可靠性高:整機配置器件均采用原裝進口配置;采用花崗巖臺座,穩(wěn)定可靠; 功能強大:擁有溫度實時補償功能;同時具有激光劃片和打標功能; 運行及維護成本低廉:采用半導體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能穩(wěn)定;電光轉(zhuǎn)換效率高,節(jié)約用電成本;采用風冷系統(tǒng),無須外置冷卻設(shè)備;操作簡單,無須高額培訓成本; 激光調(diào)組設(shè)備技術(shù)參數(shù): 激光器系統(tǒng): 激光類型:半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器 激光波長:1064/532/355nm 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355) 激光頻率:200Hz-50KHz 典型光斑尺寸:30μm 實際切口取決于材料、光學器件和波長;可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光小光斑達12μm 泵浦源使用壽命:20,000—100,000小時 冷卻方式:風冷 對焦方式:計算機程序控制 激光束定位系統(tǒng): 激光束運動范圍:75mmX75mm(可選配其他規(guī)格) 點到點運動時間:5ms(典型) 速度:7000mm/s 重復定位:2.5μm 激光束小步進:0.76μm 圖像監(jiān)視系統(tǒng): 監(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)視 放大倍數(shù):>100倍 圖像監(jiān)視顯示屏:19寸液晶 測量系統(tǒng): 激勵方式:電流/電壓激勵 恒流源:0.01μA~100mA計算機程控選擇 恒壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓范圍) 電阻測量方式:四線制加電流測電壓 直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓) 調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制:程序可設(shè)定 電阻測量:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω) 中阻:<0.05% 高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ) 電阻測量范圍:0.01Ω-500MΩ 電阻測量速度:25μs 直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下) 探針板:44針11組四線制(可選其它規(guī)格) 探針板運動:計算機程序控制 計算機及軟件系統(tǒng): 工業(yè)控制計算機(雙核),17寸液晶 操作系統(tǒng):Windows XP VB平臺開發(fā)的可視化應用軟件,界面友好,功能強大 分步重復運動系統(tǒng): 運動XY范圍:290x260mm 運動分辨率:1μm 定位:小于6μm(帶誤差補償) 重復定位:小于3μm 運動速度:900mm/s 具有溫度補償?shù)裙δ?/span> 非接觸溫度測量: 溫度測量:0.2℃ 調(diào)阻溫度修正:計算機程序控制 其它技術(shù)指標: 供電電壓:220V AC 整機功耗:小于1000W 激光調(diào)組設(shè)備應用和市場:主要應用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、科研、片式電阻等行業(yè)。 SET3/1064/532/355,SFT3:激光微調(diào)機/激光修阻機/激光調(diào)阻機/激光刻阻機 激光調(diào)阻機的成功研制對推動我國微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級起到重要作用。激光調(diào)阻機是利用激光技術(shù)對厚、薄膜電路進行修調(diào),以得到高的電阻值或精準的輸出信號。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機全部擁有自主知識產(chǎn)權(quán),采用高質(zhì)量的激光源和精密的測量系統(tǒng),空氣懸浮平面運動機構(gòu),各項性能指標達到先進水平,是取代進口產(chǎn)品之。 應用和市場: 主要應用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路,電子元器件,汽車電器,傳感器,科研,片式電阻行業(yè)等。 公司名稱:武漢三工光電設(shè)備制造有限公司 公司地址:湖北武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武漢大學科技園武大園四路 聯(lián)系人:余小姐
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