三軸導(dǎo)軌均采用天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性；
三軸導(dǎo)軌均采用高自潔式空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損；
單邊驅(qū)動(dòng)活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，顯著運(yùn)動(dòng)性能，測(cè)量及穩(wěn)定性；
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，了測(cè)量及穩(wěn)定性；
歐洲開放式金屬光學(xué)尺，解析度為0.4um；
控制系統(tǒng)采用歐洲高自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)即時(shí)控制；
三軸均采用大規(guī)率驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)及雙減速裝置，傳動(dòng)、準(zhǔn)確。
Model | 機(jī)器型號(hào) |
| KTM-121510 |
Strokes(mm) | 行程（mm） | X | 1200 |
Y | 1500 | ||
Z | 1000 | ||
Measuring Space（mm） | 測(cè)量空間 | Dx | 1300 |
Dy | 2340 | ||
Dz | 1150 | ||
Dx1 | 173 | ||
Dy1 | 280 | ||
Threaded holesize granite platform(mm) | 花崗巖平臺(tái)螺紋孔尺寸（mm） | M1 | 156 |
M2 | 120 | ||
Mx | 300 | ||
My | 300 | ||
Overall size(mm) | 外型尺寸（mm） | L | 2820 |
W | 1980 | ||
H | 3460 | ||
Max.part weight(kg) | 承重 | 2000 |
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Machine weight(kg) | 機(jī)器重量 | 5300 |
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Accuiacy(µm) | MPEe | 5.0+L/300 |
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MPEp(µm) | MPEp | 5.5 |
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Gratingresolution(µm) | 光粣尺分辨率 | 0.4 |
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Space moving | 空間移動(dòng)速度 | 200 |
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Speed(mm /s) | 空間移動(dòng)加速度 | 450 |
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Space mobile(mm/s2) | 流量/供氣壓力 | 150N1/min,0.45Mpa |
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