的全鋁技術(shù)，橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽化航空鋁合金，溫度一致性；并降低了運(yùn)動(dòng)部件的品質(zhì)和測(cè)量機(jī)在運(yùn)行時(shí)的慣性，高；
三軸導(dǎo)軌均采用高自潔式空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學(xué)尺，系統(tǒng)解析度可達(dá)0.078um；同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學(xué)尺的變形，在溫度變化時(shí)的線性伸縮；
X軸采用精密60° 三角梁技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，品質(zhì)剛性比，運(yùn)動(dòng)更加；
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機(jī)器重量的同時(shí)，消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，了測(cè)量和穩(wěn)定性；
Z向采取獲得的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題，了測(cè)量機(jī)的和長期穩(wěn)定性；
各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位。
