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真空多腔體電子束蒸發(fā)鍍膜儀
真空多腔體電子束蒸發(fā)鍍膜儀
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真空多腔體電子束蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品價格:
電議
產(chǎn)品型號:
550SL3
供應商等級:
企業(yè)未認證
經(jīng)營模式:
貿(mào)易商
企業(yè)名稱:
上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
所屬地區(qū):
上海市
發(fā)布時間:
2013/12/19 23:30:23

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肖天宇先生(聯(lián)系我時,請說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的,謝謝)

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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司

企業(yè)未認證營業(yè)執(zhí)照已上傳

經(jīng)營模式:貿(mào)易商

所在地:上海市

主營產(chǎn)品:磁控濺射、電子束蒸鍍、加速器質(zhì)譜儀、石墨化系統(tǒng)

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配置如下:


預處理腔:襯底旋轉(zhuǎn)、傾斜(3D);真空度10-8 Torr



蒸發(fā)鍍膜腔:電子6-15KW; 

 

可加載4英寸襯底;襯底旋轉(zhuǎn)、傾斜,和重復性0.01°(可升級)

 

真空度10-10 Torr或10-11 Torr

頻率分辨率10-4 Hz或更高;速率分辨率10-3 nm/s;厚度分辨率10-2 nm


氧化腔體:靜態(tài)/動態(tài)氧化(氧氣、氮氣等); 

真空度<10-8 Torr 
 

全自動軟件包,支持半自動和手動模式,支持遠程網(wǎng)絡操作和維護。 


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