安捷倫臺式HP 4500
ICP-MS,該系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。因為半導(dǎo)體行業(yè)對檢出限要求高,通常要求ppt級的檢出限,這也就需要儀器具備高的靈敏度,同時
ICP-MS質(zhì)譜儀的同時多元素分析能力也大大滿足了半導(dǎo)體行業(yè)的需求。
在半導(dǎo)體行業(yè)中,的分析難點即為痕量K、Ca、Na、
Mg、Fe的分析,由于ICP-MS固有的質(zhì)譜干擾很難獲得上述痕量元素的準確分析結(jié)果。HP
4500次引入了冷等離子體的感念,由于的冷等離子需要等離子體電勢顯著降低,以接口區(qū)域的二次放電導(dǎo)致的多原子電離干擾,安捷倫科技的屏
蔽炬技術(shù)能夠上述難題,實現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)ppt量級的K、Ca、Na、Mg、Fe元素的準確分析,該技術(shù)也成為半導(dǎo)體行業(yè)痕量分析上述元素的標(biāo)準
技術(shù)。









