- 產(chǎn)品品牌:
- syscos
- 產(chǎn)品型號(hào):
- LE-M5
LE - M5 是系科儀器公司推出的激光型橢偏儀。采用全新橢偏算法配合高品質(zhì)相位補(bǔ)償?shù)脑O(shè)計(jì)方案,可以獲得更為出色的原始橢偏參數(shù)(TanPsi 及 CosDel),進(jìn)而獲得更為的折射率及厚度。LE-M5同時(shí)支持多角度測(cè)量,適應(yīng)復(fù)雜應(yīng)用的膜厚測(cè)定。無(wú)論是光面還是絨面,LE-M5都能提供出色的采集速度及。
WHY LE-M5?
成熟的整體設(shè)計(jì),高信噪比
微細(xì)光斑(<<1mm,≈20μm)
切換式載物臺(tái)
集成操作的LE-M5軟件系統(tǒng)全天候數(shù)據(jù)監(jiān)控


