精密儀器氣浮隔振基座,能夠隔來自垂直和水平方向上2到100Hz頻率范圍的振動。而該頻率范圍是實(shí)驗(yàn)室中精密儀器常見大振幅振動源的振動頻率范圍。垂直方向上的振動可通過空氣彈簧(采用德國空氣彈簧)隔離,水平方向的振動則通過空氣彈簧與單擺結(jié)構(gòu)相結(jié)合的兩級隔振,所以水平方向隔振效果更加優(yōu)異。
基座的臺面采用“濟(jì)南青”花崗石或人造花崗石,其物理性能穩(wěn)定,臺面變形小,同時具有吸振性能。并配有德國BOSCH的水平高度閥,該閥門能調(diào)節(jié)氣動隔離系統(tǒng)中的壓力,從而自動控制基座的高度,高度控制在0.5mm以內(nèi)。
該精密儀器氣浮隔振基座主要應(yīng)用于精密儀器設(shè)備和相關(guān)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的隔振,相關(guān)儀器設(shè)備包括原子力顯微鏡、SPM、白光干涉儀和生物顯微鏡等納米的測量儀器和成像顯微系統(tǒng)。


