產(chǎn)品品牌：

ZDF-5202Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：

ZDF-5202Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)

1 儀器的用途及使用范圍 ZDF-5202Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)由雙路電阻規(guī)(ZJ-52T)與單路電離規(guī)(ZJ-2)組成，用于1.0×10⁵～1.0×10^-5Pa之間的壓力測(cè)量，適用于真空應(yīng)用、真空獲得等需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空與控制輸出的設(shè)備制造行業(yè)，包括半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、真空排氣臺(tái)、真空冶煉設(shè)備等生產(chǎn)車間及大專院校、科研院所實(shí)驗(yàn)室。儀器使用環(huán)境條件在5℃～35℃，相對(duì)濕度在80%以下，無強(qiáng)磁場(chǎng)及劇烈震動(dòng)的場(chǎng)合。   2  主要技術(shù)性能規(guī)范 2.1  測(cè)量范圍                 電阻部分觀測(cè)范圍：1.0×10⁵～1.0×10^-1 Pa 電阻部分測(cè)量范圍：3.0×10³～1.0×10^-1Pa 電離測(cè)量部分范圍：1.0×10^-1～1.0×10^-5 Pa 2.2 測(cè)量                  電阻部分:≤±50%                               電離部分：≤±5% 2.3  電源                       ～220V±22V  50Hz ±1Hz 2.4  電離規(guī)管發(fā)射電流          5mA 2.5  加速極對(duì)地電壓           225V±2V 2.6 燈絲對(duì)地電壓            25V±1V             2.7 收集極對(duì)地電壓             0V 2.8  除氣電壓                ～10V±2V 2.9  儀器外形尺寸             裝架式： 90mm×480mm×280mm 2.10  儀器開孔尺寸            88mm×440mm 2.11 儀器重量                 5Kg