ZCS1100是一個(gè)單一的通道,高性能線性位移測(cè)量系統(tǒng),電容傳感器創(chuàng)新的電容位移測(cè)量技術(shù),提供了納米測(cè)量能力,成本低,適合測(cè)量任何導(dǎo)電目標(biāo)。
該傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器;兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器,每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍;納米分辨率;零磁滯。
電容傳感器應(yīng)用領(lǐng)域
壓電微位移、振動(dòng)臺(tái),電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測(cè)量等。
電容傳感器主要特點(diǎn)
納米級(jí)分辨率;
線性0.08%;
靈敏度可調(diào);
量程:240μm;
分辨率:0.1nm;
供電:±15VDV;
高性能、成本低,尺寸小巧;







