MicroSense電容式微位移傳感器

MicroSense 微位移

 MicroSense傳感器

 MicroSense非接觸式傳感器

MicroSense探頭

高傳感器

激光傳感器

渦流傳感器

傳感器類型

感應(yīng)器原理

接觸式位移傳感器

直線位移傳感器

線性度傳感器

線性度測(cè)量

主軸測(cè)量

厚度測(cè)量

定位應(yīng)用

平面度測(cè)量

MicroSense有限責(zé)任公司成立于1967年，原隸屬于KLA-Tencor公司。以其超高分辨率、非接觸式的空間尺寸測(cè)量技術(shù)聞名。MicroSense提供傳感器和OEM計(jì)量模塊，在其的電容式感應(yīng)技術(shù)基礎(chǔ)上，進(jìn)行超高，高帶寬的精密測(cè)量應(yīng)用，如太陽(yáng)能硅片(厚度測(cè)量)，硬盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)（主軸跳動(dòng)誤差分析），氣浮主軸（主軸跳動(dòng)誤差分析），精密XY工作臺(tái)（位移量測(cè)試及定位），光盤（厚度、平坦度測(cè)量），汽車零部件及機(jī)床（直線度、平坦度及定位）,伺服反饋系統(tǒng)（如鉆石切割、壓電式切割機(jī)）。我們的電容式位移傳感器提供了在同行業(yè)中的分辨率（小于0.05納米），具有出色的穩(wěn)定性和幾乎無(wú)限的使用壽命。

產(chǎn)品參數(shù)：

MicroSense旗下共有4800、5800、6800和8800系列產(chǎn)品。探頭主要分為被動(dòng)式和主動(dòng)式兩種型號(hào)。探頭型號(hào)的選擇需要綜合考慮被測(cè)物體尺寸、運(yùn)動(dòng)速度等因素。

被動(dòng)式探頭具有高線性度、高穩(wěn)定性、高分辨率的特點(diǎn)，帶寬支持：10Hz、100Hz、1KHz、10KHz、支持20KHz帶寬，線性度為滿量程的0.02% - 0.1%,量程范圍從+/- 5um - +/-2mm，穩(wěn)定性：一般優(yōu)于200ppm/oC，分辨率為納米或亞納米級(jí)別，輸出電壓：+/- 10V；

主動(dòng)式探頭具有高帶寬、高動(dòng)態(tài)、高分辨率、高信噪比的優(yōu)良性能，帶寬支持：1KHz、5KHz、20KHz、100KHz，線性度為滿量程的0.1% - 0.5%,量程范圍從+/- 25um - +/- 1mm.穩(wěn)定性：一般優(yōu)于200ppm/oC，分辨率為納米或亞納米級(jí)別，輸出電壓：+/- 10V。

主要應(yīng)用于馬達(dá)轉(zhuǎn)子測(cè)量、驅(qū)動(dòng)電機(jī)測(cè)試等高速運(yùn)轉(zhuǎn)的應(yīng)用。

以下列舉部分探頭參數(shù)：

典型分辨率(RMS, nm)

產(chǎn)品性能優(yōu)勢(shì)：

?    高分辨率，可達(dá)亞納米級(jí)分辨率；

?    沒(méi)有遲滯；

?    高帶寬，可支持100KHz帶寬；

?    小探頭尺寸，探頭尺寸及長(zhǎng)度可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用設(shè)計(jì)；

?    高；

應(yīng)用領(lǐng)域：

1.    距離測(cè)試、機(jī)床和精密機(jī)臺(tái)的直線度和平面度測(cè)量

2.    機(jī)床主軸，空氣軸承主軸，軸承和精密電機(jī)徑向和軸向跳動(dòng)測(cè)試

3.    硅片等厚度測(cè)試 

4.    定位系統(tǒng)應(yīng)用：

5.    自動(dòng)對(duì)焦控制系

6.    伺服反饋系統(tǒng)

現(xiàn)有客戶群體：

清華大學(xué)、南開(kāi)大學(xué)、天津大學(xué)、德國(guó)Bruker、荷蘭ASML、美國(guó)西部數(shù)據(jù)(Western Digital Corp)、美國(guó)Federal Mogul、美國(guó)FEI、韓國(guó)三星集團(tuán)、日本 Canon、日本Nicon、日本NUFLARE、日本YASKAWA等企業(yè)及院所。