Brooks提供面向各種應用需求和真空測量范圍的真空測量方案。Granville-Phillips規(guī)管、電子氣件、模塊化真空產品,和量身定制的解決方案呈現出適應性廣,性和特性,從而滿足各種市場需求,這些應用包括半導體及相關工藝、分析儀器和科研院校的研究和工業(yè)制造。
Granville-Phillips產品線覆蓋從10-10Torr到大氣壓的真空測量范圍。我們的產品設計適用于本地和遠程控制的要求,或者是柜式安裝形式的控制器或者本地模塊化的測量方案。同時,Granville-Phillips還可以從簡單的模擬量信號到各種數字通訊協議的多種輸出形式特性選擇。增加本地 顯示和遠程控制I/O功能可以顯著減少系統集成成本。
如果性、穩(wěn)定性和性是您的真空制程系統和產能,那么Granville-Phillips就是您的真空計系統的選擇。
835真空質量監(jiān)控系統。Granville-Phillip®的真空質量監(jiān)控儀(Vacuum Quality Monitor, VQMTM)結合了的氣體分析技術和智能儀表的設計理念,使得復雜的測量變成了可識別的信息。835VQM系統是目前世界上速度快,耗能的氣體成分分析儀,它在85毫秒內完成1到145質量數的氣體分子的數據收集、質譜分析和數據記錄等工作,或是120毫秒內監(jiān)控1-300質量數的成分。可選擇部分掃描功能從而獲得更快的掃描速度。
優(yōu)勢特點:
- 的Stabile-Ion規(guī)管性能集中于緊湊的模塊中
- 從10-11 Torr (10-11 mbar,10-9 Pa)開始的精準的真空壓力測量
- 雙燈絲規(guī)管結構增加了設備的正常運行時間
- 模擬量或DeviceNet接口
- 模塊化設計允許快速簡單地進行規(guī)管更換
- DeviceNet型獲CE
GUTS ®支持體系
Granville Phillips產品均有GUTS(不受版權保護或相似自由的支持)的快速響應網絡提供強大支持以及我們的客戶支持計劃的支持。當您致電GUTS服務中心時,我們從技術支持人員中精心挑選出來的真空將立即為您提供令人滿意的解答和操作。我們每天365天、每天24小時全天候為您竭誠服務。如果在美國,請撥打1-800-FOR-GUTS(800-367-4887)。








