傳感器的量程與分辨率-量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率數(shù)據(jù)記錄-以橫向（X軸）數(shù)據(jù)點(diǎn)間距為0.125μm進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄，可完成200mm（1，600，000數(shù)據(jù)點(diǎn)）的測(cè)量表面形狀基準(zhǔn)桿-驅(qū)動(dòng)箱200mm內(nèi)配有直線度為0.125μm的精密基準(zhǔn)桿工作平臺(tái)的穩(wěn)定性-配有震、噪系統(tǒng)的大理石基座分析的靈-提供寬廣領(lǐng)域的軸承分析功能選項(xiàng)
傳感器的量程與分辨率-量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率數(shù)據(jù)記錄-以橫向（X軸）數(shù)據(jù)點(diǎn)間距為0.125μm進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄，可完成200mm（1，600，000數(shù)據(jù)點(diǎn)）的測(cè)量表面形狀基準(zhǔn)桿-驅(qū)動(dòng)箱200mm內(nèi)配有直線度為0.125μm的精密基準(zhǔn)桿工作平臺(tái)的穩(wěn)定性-配有震、噪系統(tǒng)的大理石基座分析的靈-提供寬廣領(lǐng)域的軸承分析功能選項(xiàng)
傳感器的量程與分辨率-量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率數(shù)據(jù)記錄-以橫向（X軸）數(shù)據(jù)點(diǎn)間距為0.125μm進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄，可完成200mm（1，600，000數(shù)據(jù)點(diǎn)）的測(cè)量表面形狀基準(zhǔn)桿-驅(qū)動(dòng)箱200mm內(nèi)配有直線度為0.125μm的精密基準(zhǔn)桿工作平臺(tái)的穩(wěn)定性-配有震、噪系統(tǒng)的大理石基座分析的靈-提供寬廣領(lǐng)域的軸承分析功能選項(xiàng)
