橋架固定，工作臺移動的固定橋式結(jié)構(gòu)，為整機提供了更穩(wěn)定的基礎(chǔ)，并運行時，振動對的影響小
陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計量室環(huán)境下的測量提供了穩(wěn)定的高
中心驅(qū)動系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺的，阿貝誤差小
Y向采用燕尾導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，了機器的和重復(fù)性柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動的優(yōu)點，高加速度時定位，從而運動的平穩(wěn)性
Z向采用可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，了機器的動態(tài)性能，Z軸性
標(biāo)配溫度傳感器，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計量室環(huán)境下的測量提供了穩(wěn)定的高
中心驅(qū)動系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺的，阿貝誤差小
Y向采用燕尾導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，了機器的和重復(fù)性柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動的優(yōu)點，高加速度時定位，從而運動的平穩(wěn)性
Z向采用可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，了機器的動態(tài)性能，Z軸性
標(biāo)配溫度傳感器，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
