即放即測;10秒鐘完成50nm的薄金鍍層測量;
可無標(biāo)樣測量;通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置!
主要特點(diǎn):
1.通過自動定位功能操作性測量樣品時,以往需花費(fèi)約10秒的樣品對焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大
樣品定位的操作性。
2.微區(qū)膜厚測量通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅
度膜厚測量的。
3.多達(dá)5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測量。
4.廣域觀察系統(tǒng)(選配)可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
5.對應(yīng)大型印刷線路板(選配)可對600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測量。
6.位與以往機(jī)型相比,既了功能性又降低20%以上的價格?!?




