其他說明
| 1 | 規(guī)格 | 八路氣體控制裝置 |
| 2 | 可選流量規(guī)格 | 5sccm~30slm |
| 3 | 控制準(zhǔn)確度 | &plun;1.5%F.S./路 |
| 4 | 線性 | &plun;(0.5~1.5)%F.S/路。 |
| 5 | 重復(fù) | &plun;0.2%F.S. |
| 6 | 工作壓差范圍 | (0.2~0.4)MPa |
| 7 | 工作環(huán)境溫度 | 15℃~35℃ |
| 8 | 電源 | ~220V&plun;10%50Hz |
| 9 | 控制方式 | 電磁閥控制 |
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| 1 | 規(guī)格 | 八路氣體控制裝置 |
| 2 | 可選流量規(guī)格 | 5sccm~30slm |
| 3 | 控制準(zhǔn)確度 | &plun;1.5%F.S./路 |
| 4 | 線性 | &plun;(0.5~1.5)%F.S/路。 |
| 5 | 重復(fù) | &plun;0.2%F.S. |
| 6 | 工作壓差范圍 | (0.2~0.4)MPa |
| 7 | 工作環(huán)境溫度 | 15℃~35℃ |
| 8 | 電源 | ~220V&plun;10%50Hz |
| 9 | 控制方式 | 電磁閥控制 |