DDM150是本公司新研發(fā)的直接驅(qū)動(dòng)型旋轉(zhuǎn)臺(tái)。DDM150直驅(qū)技術(shù)替代了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)蝸輪。它具有度的優(yōu)勢(shì)，性高，強(qiáng)靈敏度。速度，分辨率和重復(fù)性比一個(gè)同樣大小的蝸輪旋轉(zhuǎn)臺(tái)了一倍至十倍。•特點(diǎn)：、高分辨率、高、高負(fù)載。•應(yīng)用場(chǎng)所：半導(dǎo)體圓檢驗(yàn)、X光顯微照片、精密測(cè)量檢驗(yàn)、快速位測(cè)量、拉絲模成型、金剛石切割、晶圓劃片、太陽(yáng)能電池板刻劃。
技術(shù)參數(shù)：
轉(zhuǎn)速：5n/s
分辨率：1024P/R（可達(dá)0.001°）
：&plun;1‰（不同分辨率有所不同，請(qǐng)與我公司聯(lián)系）
工作溫度：-30°~60°
負(fù)載：30kg
技術(shù)參數(shù)：
轉(zhuǎn)速：5n/s
分辨率：1024P/R（可達(dá)0.001°）
：&plun;1‰（不同分辨率有所不同，請(qǐng)與我公司聯(lián)系）
工作溫度：-30°~60°
負(fù)載：30kg
