尺寸：970（W）＊640（D）＊680（H）mm
樣品腔尺寸小樣品腔：300（W）＊300（D）＊100（H）mm；
真空腔：200＊40（H）mm
大樣品腔：無限制，小于30公斤真空度測試真空度20Pa，
限真空0.1Pa
重量凈重：85kg
工作環(huán)境15—30℃
相對濕度≤85％（不結(jié)露）可分析元素
范圍：Al-U限檢出限
樣品腔尺寸小樣品腔：300（W）＊300（D）＊100（H）mm；
真空腔：200＊40（H）mm
大樣品腔：無限制，小于30公斤真空度測試真空度20Pa，
限真空0.1Pa
重量凈重：85kg
工作環(huán)境15—30℃
相對濕度≤85％（不結(jié)露）可分析元素
范圍：Al-U限檢出限
