重量56kg;尺寸510*343*428mm;內(nèi)置旋片泵抽速10m³/h;另有干式的ASM Graph D,ASM 142 D,內(nèi)置隔膜泵與分子拖曳泵,抽速?gòu)?m³/h到18m³/h;當(dāng)需要更加清潔的使用條件(如半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用),可選擇內(nèi)置ACP15干泵的ASM Graph D+。真空模式小可測(cè)泄漏量5.10-12mbar.l/s,吸模式小可測(cè)泄漏量1.10-7mbar.l/s,反應(yīng)時(shí)間<1s。


